二維材料通常是在高溫下、一定氣氛下合成,襯底的選擇非常有限,需要襯底能夠耐高溫、耐化學腐蝕。但是這些生長襯底經常不能滿足后期器件的制備以及性能調控,因此,將納米尺度的二維材料完整、無損地從生長襯底上轉移到另一個襯底上對于拓展其應用、組裝更復雜光電子學元器件是一件非常重要而且有挑戰(zhàn)性的工作。另外,將不同的二維材料堆疊在一起,可以形成由范德瓦爾斯作用維系的雙層甚至多層人工材料。這樣的材料被稱為范德瓦爾斯異質結。性質迥異的二維材料堆疊到一起之后可以得到令人驚奇的物理性質。近乎無限豐富的可能性使得范德瓦爾斯異質結的重要性甚至高過了二維材料本身。所以,亟需一套高效、靈活、精準的二維材料轉移系統(tǒng)來解決二維材料轉移困難的問題。
該轉移系統(tǒng)是為了能準確的在襯底上做標記或轉移材料而設計,它不僅可以在x-y-z三軸方向相對移動,還可以通過傾斜和旋轉來移動。當制造異質結構的材料時,可以使晶體薄片的排列具有最高的自由度?;撞捎谜婵展潭?,并可在操作過程中進行加熱。該系統(tǒng)緊湊的設計便于放置在手套箱中,可以轉移操作對空氣較為敏感的材料。
襯底支架的溫度和真空度由觸摸屏控制,用戶可以自定義的加熱速率。除了設置襯底支架真空度的泵以外,控制箱還包含一個壓縮機,可以使用氣流更快地冷卻襯底支架。
數碼顯微鏡有3個遠場物鏡,5X, 20X和50X。它無需計算機操控,只需要通過HDMI與顯示器直接連接。圖像直接存儲在閃存驅動器中。
該軟件可以操控設置圖像顏色,校準范圍以及繪制簡單的形狀或參考線。整套設備包含:光學部件、機械操控臺,電子操控臺,顯示器等模塊。
二維材料的濕法與干法轉移基本分為兩個步驟:
首先,將生長(剝離)的二維材料轉移到載玻片的聚合物上;
其次,將二維材料從聚合物上轉移到目標襯底上,完成轉移工作。
1. 在樣品臺上粘上雙面粘性膠帶 2. 將樣品置于樣品臺 3. 將樣品臺對角固定確保平整度
4. 使用放大物鏡將樣品成像 5. 將樣品旋轉倒置 6. 將樣品安裝于微操作器上
7. 將樣品粗略地置于樣品臺 8. 將樣品移入物鏡/CCD可視范圍內 9. 樣品圖片開始聚焦
10. 緩慢的移動樣品并用微操作器 11. 當快要接觸到樣品表面時,它的
在X-Y軸方向進行調整,將薄片與 位置是借助CCD的數碼變焦進行
所需的模塊對齊 微調的
具體案例:
夾層結構 異質結構